옌웨이반도체, 6·8인치 탄화규소 장비 재공급
옌웨이반도체가 6·8인치 탄화규소(SiC) 웨이퍼에 대응하는 외피택시 장비를 중국 상장사 고객에게 다시 공급했다. 전기차와 에너지저장장치(ESS), 산업용 전원에 쓰이는 전력반도체 양산 공정을 겨냥한 장비다.
옌웨이(장쑤)반도체과기유한공사(研微（江苏）半导体科技有限公司)가 자체 개발한 SiC EPI 장비를 재차 인도했다고 화성재경은 4일 보도했다. 장비는 평면형과 트렌치형 SiC 외피택시 양산 공정을 지원한다. 고객사명과 공급 대수, 납품 금액은 공개되지 않았다.
옌웨이반도체의 공식 제품 페이지에는 SiC EPI 제품군인 ‘Torridus’ 시리즈가 올라와 있다. 회사는 적용 분야로 △에너지저장 △충전파일 △태양광 △철도교통 △신에너지차를 제시했다.
SiC는 실리콘보다 고전압과 고온 환경에 강한 전력반도체 소재다. 외피택시는 웨이퍼 위에 결정층을 성장시키는 공정으로, 전력소자의 품질과 수율에 영향을 준다. 전기차 인버터와 충전 인프라, ESS, 산업용 전력변환 장치의 핵심 공정으로 꼽힌다.
중국 우시에 본사를 둔 옌웨이반도체는 박막증착·외피택시 장비를 개발한다. 회사는 △원자층증착(ALD) △플라스마 강화 원자층증착(PEALD) △실리콘 외피택시(Si EPI) △탄화규소 외피택시(SiC EPI) △플라스마 강화 화학기상증착(PECVD) 기술을 보유하고 있다고 밝혔다. 장비는 집적회로와 전력소자, 무선주파수(RF) 부품, 첨단 패키징 분야에 쓰인다.
회사는 2024년 8인치 SiC 외피택시 장비의 첫 조립과 공정 개발을 진행했다. 여러 증착 장비도 고객사의 연구·양산 라인에서 검증 또는 양산 단계에 들어갔다고 설명했다.
옌웨이반도체는 2025년 9월 15일 자체 개발한 ‘Perfectus-A’ 시리즈 실리콘 외피택시 장비를 중국 실리콘 소재 기업에 인도했다. 우시경제개발구는 당시 회사가 Thermal ALD와 PEALD, Si EPI, SiC EPI 등 4개 제품군의 출하를 확대하고 있다고 밝혔다.
옌웨이반도체는 2025년 11월 25일 수억 위안 규모의 A라운드 투자도 마쳤다. 투자계는 조달 자금이 연구개발과 팀 확충에 쓰일 예정이라고 보도했다. 이번 장비의 실제 양산 투입 시점은 공개되지 않았다.
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