삼성전자 식각 레시피 램리서치 한국법인에 여러 차례 유출 보도

토큰포스트 속보 2026.11.09 18:51

삼성전자의 반도체 식각 공정 레시피가 설비업체 램리서치 한국법인으로 허가 없이 여러 차례 넘어갔다는 보도가 나왔다. 삼성 내부 조사 결과를 전한 내용이다.

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삼성전자의 반도체 제조용 식각 공정 레시피가 설비 공급업체 램리서치($LRCX) 한국법인으로 허가 없이 여러 차례 넘어갔다는 보도가 나왔다. 삼성 내부 조사에서 이런 사실이 드러났다는 내용이다.

국내 반도체 전문매체 디일렉(THE ELEC)은 삼성의 내부 조사에서 허가 범위를 넘어선 데이터 전송이 여러 차례 있었다고 보도했다. 디일렉은 삼성이 이를 심각한 기술 유출 사건으로 보고 있다고 전했다.

램리서치(Lam Research)는 삼성 반도체 생산라인에 식각·증착 장비를 공급하는 업체다. 디일렉에 따르면 장비가 가동되면서 생기는 데이터는 공장 내부 모니터링 서버 등에 저장된다. 양사 협약에 따라 램리서치는 성능 개선과 유지보수를 위해 제한된 범위에서 일부 설비 데이터를 받을 수 있고, 이 과정에서 한국법인이 삼성에 데이터 신청을 낸다.

디일렉은 삼성 조사 결과 외부 제공이 허용되지 않은 일부 공정 레시피가 독립 파일 형태로 램리서치 한국법인에 넘어갔다고 보도했다. 해당 전송은 규정에 맞지 않는 신청에서 비롯됐으며 단발성 행위가 아니었다고 전했다.