규모 4.9 지진…TSMC 구마모토 공장 지역 진도 3

티에스엠씨(TSMC·$TSM)의 일본 구마모토 공장이 있는 기쿠요정에서 12일 규모 4.9 지진에 따른 진도 3의 흔들림이 관측됐다.

지진은 이날 오후 1시 5분께 구마모토현 아마쿠사·아시키타 지방에서 발생했다. 진원 깊이는 약 10㎞, 최대 진도는 4였으며 쓰나미 우려는 없었다고 대만 매체 BlockTempo는 보도했다.

최대 진도 4는 야쓰시로시와 우키시, 가미아마쿠사시, 아마쿠사시, 아시키타정 등에서 관측됐다. 나가사키현 이사하야시와 운젠시에서도 같은 수준의 흔들림이 기록됐다.

일본첨단반도체제조(JASM)가 자리한 기쿠요정의 진도는 3에 그쳤다. BlockTempo는 이번 지진 이후 공장 가동 중단 소식이 전해지지 않았다고 보도했다.

이번 흔들림은 7월 28일 발생한 규모 7.1 지진보다 약했다. 당시 JASM 공장 지역에서는 진도 5강이 관측돼 직원 대피와 건물·설비 점검이 이뤄졌다.

티에스엠씨는 당시 구조 안전을 확인한 뒤 구마모토 제1공장 가동을 단계적으로 재개했다. 건설 중인 제2공장도 안전을 확인한 뒤 7월 29일 공사를 다시 시작했다.

티에스엠씨 일본 법인은 8월 3일 공식 X 계정을 통해 구마모토 공장의 생산이 지진 발생 전 수준으로 돌아왔다고 밝혔다. 7월 28일 지진 이후 약 6일 만의 정상화였다.

회사는 구마모토 지진 피해 복구를 위해 2억5000만엔을 기부하고 임직원 모금도 시작했다. 생산 복구와 별도로 지역 피해 지원에 나선 것이다.

반도체 공장은 건물에 구조적 손상이 없어도 장비 상태를 별도로 확인해야 한다. 노광·식각·증착 장비는 미세한 진동에도 영향을 받을 수 있어 통상 생산 재개 전에 공정 조건과 장비 정밀도를 다시 점검한다.

7월 강진 때 생산 정상화에 시간이 걸린 것도 장비 점검과 보정 작업 때문이었다. 이번 지진 당시 공장 지역에서는 진도 3이 관측됐으며, 티에스엠씨가 별도의 점검이나 생산 조치를 했는지는 확인되지 않았다.

JASM 제1공장은 2024년 12월 가동을 시작했다. 28·22나노미터와 16·12나노미터 공정을 생산하며 계획상 월 생산능력은 12인치 웨이퍼 5만5000장이다.

이 공장에서 생산하는 성숙 공정 반도체는 자동차와 산업용 기기, 이미지센서 관련 부품 공급망과 맞물려 있다. 첨단 연산용 반도체보다 오래된 공정이지만 활용 범위가 넓어 생산 중단 여부가 공급망에 영향을 줄 수 있다.

일본 기상청은 12일 구마모토 지역의 지진 발생 횟수가 증감을 반복하면서 전반적으로 줄고 있지만 지진 활동은 여전히 활발하다고 설명했다. 8월 1일 오후 9시 47분께에는 규모 4.7, 최대 진도 5약의 여진이 발생했다.

이후에도 8월 9일과 11일, 12일 구마모토 일대에서 사람이 느낄 수 있는 지진이 이어졌다. 다만 12일 지진 이후 JASM의 가동 중단 소식은 전해지지 않았다.