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일론 머스크(Elon Musk)가 반도체 제조의 핵심 공정에 쓰이는 극자외선(EUV) 광원 기술에 관심을 보였다는 보도가 나왔다. 기존 레이저 생성 플라스마(LPP) 방식과 다른 자유전자레이저(FEL)가 대안으로 거론됐다.
오데일리는 한국시간 10일 오후 1시 14분 시장 소식을 토대로 머스크가 자동차와 로켓, 휴머노이드 로봇에 이어 EUV 광원에 관심을 두고 있다고 전했다. 머스크는 상용화된 LPP보다 FEL을 선호하는 것으로 전해졌다.
EUV 노광은 짧은 파장의 빛을 이용해 웨이퍼에 미세 회로를 새기는 첨단 반도체 공정이다. 현재 차세대 노광 기술인 고개구수 극자외선 장비의 광학 부품 공급망에는 ASML(ASML)과 차이스(ZEISS) 등이 참여하고 있다.
FEL은 가속한 전자를 자기장 장치에 통과시켜 빛을 만드는 방식이다. 오데일리는 FEL이 이론적으로 첨단 반도체 생산 비용을 크게 낮출 수 있다고 전했다. 다만 이 기술은 아직 초기 연구개발 단계로, 실제 반도체 양산 공정 적용 여부는 검증되지 않았다.
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